氣路備件
說明 | 規(guī)格 | 使用 | 單位 | 7700 部件號 | 7500 部件號 |
帶內(nèi)套管的等離子體/輔助管線 | 0.2m | 2/包 | G3280-67023 | ||
等離子氣路/輔助氣路的接頭,PTFE | 6mm和4mm | 用于到炬管的氣路連接 | 各1個 | G1820-65027 | G1820-65027 |
用于載氣/輔助氣/混合氣氣路的內(nèi)套管 | CTFE | 用于將氣路管線連接到接頭 | 5/包 | 5042-0922 | |
等離子氣路的內(nèi)套管 | CTF | E用于將氣路管線連接到接頭 | 5/包 | 5042-0923 | |
載氣/補充氣/稀釋氣體管 | G3280-67022 | ||||
用于稀釋氣體端口的氣體連接器 | 用于連接稀釋氣體線到稀釋端口 | 0100-2583 | |||
氬氣管組件包 | 1/4英寸外徑,5m, 內(nèi)套管,接頭 | 用于外部管線 | G1820-65023 | ||
載氣/混合氣的管線,PTFE | 3mm內(nèi)徑, 4mm外徑,35cm | 用于連接霧化器的氣路管線 | 2/包 | G1833-65414 | |
等離子體和輔助氣路管線 | 3.17mm內(nèi)徑, 6.35mm外徑,35cm (用于等離子體) 2.38mm內(nèi)徑, 3.96mm外徑,35cm (輔助氣體) | 用于到炬管的氣路連接 | 2/包 | G3270-65021 | |
氬氣增濕器 | G3270-80029 | G3270-80029 | |||
氬氣過濾器 | G1820-80341 | G1820-80341 | |||
氬氣清洗氣過濾器 | 半導體應用 | 5064-8092 | 5064-8092 | ||
用于7700x/e的氬氣管路組件包 | 用于外部管線 | G3280-60160 | |||
用于7700s的氬氣管組件包 | 用于外部管線 | G3280-60163 | |||
不銹鋼管 | 外徑1/8英寸,6米 | 用于外池氣路 | G3270-65035 | G3270-65035 |
說明 | 部件號 |
三聯(lián)過濾柱,用于超凈氣體凈化系統(tǒng),底盤型 | 5182-9705 |
用于氣體過濾器的更換O-型圈,8/包,兩種尺寸,每種尺寸4個 | 5182-3423 |
說明 | 部件號 |
氦氣的調(diào)壓表 | 0101-1398 |
氫氣調(diào)壓表 | 0101-1399 |
氬氣調(diào)壓表 | 0101-1400 |
用于NH3/氦氣的調(diào)壓表 | 5188-5374 |
說明 | 規(guī)格 | 使用 | 7500部件號 |
用于端蓋帽和氣路管線的接頭 | 用于將氣路連接到霧化器 | 5063-5263 | |
等離子氣路/輔助氣路的接頭,PTFE | 6mm和4mm | 用于到炬管的氣路連接 | G1820-65027 |
載氣氣路的接頭,PTFE | 4mm管線,包括密封圈和O-形圈 | 連接Babington霧化器的氣路管線 | G1820-65214 |
用于載氣氣路的接頭,聚丙烯 | 4mm管線,包括密封圈和O-形圈 | 用于將氣路連接到同軸霧化器 | G1820-65052 |
混合氣氣路的接頭,聚丙烯,2/包 | 4mm管線 | 用于連接交叉流到Babington霧化器的氣路管線 | G1820-65119 |
補充氣路的接頭,聚丙烯 | 4mm管線,Luer型 | 用于連接交叉流到Babington霧化器的氣路管線 | G1833-65477 |
兩通接頭 | 4mm管線 | 用于PFA同軸霧化器 | 5064-8078 |